WLI-200干涉仪基于白光干涉原理，采用非接触式的测量方法，用于超高精度的平面和曲面轮廓、面形误差、缺陷形态、波纹度及表面粗糙度的测量，也可分析截面、刻线凹槽深度和台阶高度等，具有高测量精度、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广等优点，是目前在3D检测领域精度最高的测量仪器之一。
产品参数
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技术指标
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参数值
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扫描装置
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长范围，Z轴纳米光栅控制
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物 镜
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无限远共轭干涉物镜2.5X，5X，10X，20X，50X
（其它可定制）
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视 场
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与选用物镜及放大倍率相关
运用图像拼接技术可得到更大范围
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光 源
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白光光源，可控亮度调节
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测量阵列
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高稳定度工业级相机
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样件观察
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软件集成窗口实时视频观察
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Z 轴
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典型200mm行程
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纵向扫描
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7.4mm(10X镜头）
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粗糙度重复性
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<0.01nm
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横向分辨率
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0.4μm~10.2μm，与选用物镜相关
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台阶测量
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准确度≤0.75%，重复性≤0.1 % 1σ
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纵向分辨率
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<0.1nm
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产品特性
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1）非接触式测量，避免被测件表面的损伤
2）三维微观形貌测量
3）纳米级分辨率
4）气浮隔振装置
5）可实现大范围的三维拼接检测
被测样品特性
各种材质：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
反射率： 0.5%~100%
环境要求
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温度： 15~30℃，梯度< 1℃/15 分钟
湿度： 相对湿度 5%~95%，无凝露
隔振： 三通道气浮隔振系统
电源： 220V 稳压电源，三角插孔
应用领域
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WLI-200干涉仪可用来测量三维微观形貌，被广泛应用于电容元器件表面测量、晶圆表面粗糙度测量、金属表面纹理测量、表面划痕深度检测等方面；适用于消费电子、精密加工、光学制造、先进技术研发等领域。
软件界面
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