大型光学测量系统
主要应用于镜头大型镜头偏心,曲率半径及畸变测量。旋转台及Z向导轨采用静压气体导轨润滑。
超精密四轴卧式铣床
该系统X轴,Y轴,Θ轴及主轴采用静压气体导轨,运动平稳,能实现超高精度小型元件的加工。
磁场测量系统
大行程气浮导轨
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